By this author

SYNTHESIS OF TiN-Cu NANOCOMPOSITE COATINGS BASED ON THE PRINCIPLE OF COUPLING PROCESSES OF VACUUM-ARC EVAPORATION, MAGNETRON SPUTTERING AND ION BEAM SPUTTERING

Issue number 2 from 01.02.2023

Получены сверхтвердые композитные покрытия TiN-Cu, синтез которых основан на принципе сопряжения режимов работы вакуумно-дугового испарителя, планарного магнетрона и плазменного источника ионов. Строение, структура и свойства композитных покрытий TiN-Cu не зависят от типа гибридных методов их синтеза. Показано, что покрытия имеют характерную однородную глобулярную структуру с размерами кристаллитов в пределах 20-50 нм и текстурируются по плоскости (111). Медь не образует собственной кристаллической фазы и не находится в кристаллической решетке других фаз, расположена на границах кристаллитов в аморфном, либо рентгеноаморфном состоянии. Содержание меди по всему профилю покрытий составляет 5-10 ат.%. Микротвердость покрытий 38-42 ГПа.

47 0