Статьи автора

Влияние отжига на структуру поверхностных слоев диоксида церия, полученных методом магнетронного распыления

Номер выпуска 6 от 01.06.2023

Методом магнетронного распыления с применением последующего отжига получены нано- и микроразмерные поверхностные слои диоксида церия CeO₂ на основе титанового сплава ВТ6. Структуру образцов определяли с помощью сканирующей электронной микроскопии, электронной Оже-спектроскопии, энергодисперсионной спектроскопии и рентгеновской дифрактрометрии. Показаны линейная зависимость толщины поверхностного слоя от длительности его осаждения и нелинейный ее рост при увеличении мощности источника питания, увеличение шероховатости поверхности, расслаивание и разрыхление поверхностного слоя, предположительно связанные с отжигом. В образцах с поверхностным слоем тоньше 750 нм обнаружено формирование подслоя TiO₂, Al₂O₃ и CeVO₄, а при слое <300 нм весь диоксид церия расходовался на объединение с диоксидом ванадия до ванадата.

10 0