By this author

Effect of Annealing on the Structure of Magnetron-Sputtered Cerium Dioxide Surface Layers

Issue number 6 from 01.06.2023

Методом магнетронного распыления с применением последующего отжига получены нано- и микроразмерные поверхностные слои диоксида церия CeO₂ на основе титанового сплава ВТ6. Структуру образцов определяли с помощью сканирующей электронной микроскопии, электронной Оже-спектроскопии, энергодисперсионной спектроскопии и рентгеновской дифрактрометрии. Показаны линейная зависимость толщины поверхностного слоя от длительности его осаждения и нелинейный ее рост при увеличении мощности источника питания, увеличение шероховатости поверхности, расслаивание и разрыхление поверхностного слоя, предположительно связанные с отжигом. В образцах с поверхностным слоем тоньше 750 нм обнаружено формирование подслоя TiO₂, Al₂O₃ и CeVO₄, а при слое <300 нм весь диоксид церия расходовался на объединение с диоксидом ванадия до ванадата.

11 0