Распылением катодов различных магнетронов (Ti, Al, Zr, InSn) получены тонкие композитные твердые смазочные покрытия TiAlZrN и TiAlZrN-InSn. Методами электронной микроскопии, рентгеноспектрального и рентгеноструктурного анализов исследовали структуру, элементный и фазовый составы. Развитость поверхности покрытий значительно возрастала при увеличении содержания индия и уменьшении отношения содержаний Al/Zr. Получены разные фазовые составы покрытий в зависимости от отношения содержаний основных компонентов. В результате покрытия могут иметь нитридную структуру: однофазную Ti,Al,ZrN с периодом решетки близким к a = 4,24 Å, двухфазную с InSn, двухфазную, включающую нитриды TiAlZrN (период решетки a ≈ 4,24 Å), ZrTiAlN (a = 4,29-4,58 Å), и трехфазную с InSn. Микротвердость покрытий достигала 1056 HV0,05 при наибольших значениях для двухфазной нитридной структуры. В трибологических испытаниях износ определяли для режима возвратно-поступательного движения. Коэффициенты трения покрытий варьировались от 0,20 до 0,33. Наименьший износ получен для покрытий, содержащих две нитридные фазы и индий в количестве <3,7 ат.%.
Индексирование
Scopus
Crossref
Высшая аттестационная комиссия
При Министерстве образования и науки Российской Федерации